توضیحات

تیرک های یک سر آزاد به روش MEMS:

تیرکک های یک سر آزاد از قطعات مبتنی بر ساختارهای MEMS ( میکرو الکترومکانیکال) می باشند. این سیستم ها ترکیبی از قطعات الکترونیکی و مکانیکی بسیار ریز بوده و تحت فرآیندهای پیچیده ساخت مدارهای مجتمع الکترونیکی (IC) ساخته می شوند. از میکرو تیرک یک سر آزاد می توان به عنوان حسگرهای بیولوژیکی، شیمیایی و فیزیکی استفاده نمود.

از کاربردهای تیرک های یک سر آزاد می توان به عنوان سنسور رطوبت، سنسور ویسکوزیته، سنسور گرماسنجی ، کیت های تشخیص بیماری و آشکارساز سرطان ( درحوزه پزشکی )، آشکارساز ذرات مغناطیسی، آشکارساز مواد منفجره و بایوچیپ ها اشاره کرد.