منبع تغذیه RF

منبع تغذیه RF

مولّد فرکانس رادیویی 1000 وات با فرکانس 13.56 مگاهرتز در حقیقت یک منبع سیگنال سینوسی در محدوده‌ی فرکانس‌های رادیویی است که می‌تواند توانی معادل با 1000 وات را به یک بار الکتریکی 50 اهمِ خالص تحویل دهد‌. این مولد از پیشرفته‌ترین مولدهای قابل دسترس در بازارِ تجاری حال حاضر ایران می‌باشد. فرکانس 13.56 مگاهرتز قسمتی از باند فرکانس رادیویی است که به کاربردهای علمی، صنعتی و پزشکی اختصاص داده شده است. کاربرد خاص این مولّدهای فرکانس رادیویی تولید پلاسمایی خاص، موسوم به پلاسمای RF است. خروجی دستگاه سیگنالی سینوسی با فرکانس 13.56 مگاهرتز و توانی حدود 1000 وات است. از آنجایی که محفظه‌ی پلاسما از نظر الکتریکی باری متغیر با زمان محسوب می‌شود و امپدانس آن از ابتدای فرآیند تا انتهای آن ثابت نیست، لازم است که بین مولّد فرکانس رادیویی و محفظه‌ی پلاسما یک شبکه‌ی تطبیق قرار دهیم. در حقیقت ما در جعبه‌ی تطبیق امپدانس سعی می‌کنیم که با اندازه‌گیری امپدانس محفظه و اعمال کنترل مناسب بر روی المان‌های موجود در آن، مولّد فرکانس رادیویی در تمام طول فرآیند (با وجود تغییر بار الکتریکی محفظه) در خروجی خود بار 50 اهم خالص را ببیند. ایمن بودن از نظر ایجاد تداخلات الکترومغناطیسی، قابلیت کار پیوسته، کنترل و کاربری آسان، نمایش توان انتقالی و انعکاسی، دریافت ورودی صفر تا پنج ولت برای کنترل توان خروجی ژنراتور، سیستم خنک­ کننده از ویژگی های دیگر این مولد می باشد.