مشخصات فنی
پهناي تيرک |
طول تيرک | فرکانس طبيعي | فنريت مکانيکي |
µm40 |
µm100 | kHz250.9 | N/m39.7 |
µm200 | kHz63.0 | N/m4.99 | |
µm50 | µm100 | kHz250.9 | N/m49.57 |
µm200 | kHz63.0 | N/m6.24 | |
µm70 | µm200 | kHz250.9 | N/m68.9 |
µm300 | kHz63.0 | N/m8.73 | |
µm100 | µm200 | kHz63.0 | N/m96.61 |
µm300 | kHz28.02 | N/m2.44 | |
µm200 | µm200 | kHz63.0 | N/m168.20 |
µm300 | kHz28.02 | N/m24.31 |
توضیحات
تیرک های یک سر آزاد به روش MEMS:
تیرکک های یک سر آزاد از قطعات مبتنی بر ساختارهای MEMS ( میکرو الکترومکانیکال) می باشند. این سیستم ها ترکیبی از قطعات الکترونیکی و مکانیکی بسیار ریز بوده و تحت فرآیندهای پیچیده ساخت مدارهای مجتمع الکترونیکی (IC) ساخته می شوند. از میکرو تیرک یک سر آزاد می توان به عنوان حسگرهای بیولوژیکی، شیمیایی و فیزیکی استفاده نمود.
از کاربردهای تیرک های یک سر آزاد می توان به عنوان سنسور رطوبت، سنسور ویسکوزیته، سنسور گرماسنجی ، کیت های تشخیص بیماری و آشکارساز سرطان ( درحوزه پزشکی )، آشکارساز ذرات مغناطیسی، آشکارساز مواد منفجره و بایوچیپ ها اشاره کرد.